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全封閉式桌面顯影機

簡(jiǎn)要描述:全封閉式桌面顯影機 主要用于半導體制造中晶片的顯影工藝,性?xún)r(jià)比高,穩定性好,重復性好,對顯影作業(yè)有非常理想的效果。設備配有一路顯影和一路水、一路氣吹功能,并且噴嘴位置可程控移動(dòng),實(shí)現自動(dòng)顯影和清洗作業(yè)。

  • 所在城市:無(wú)錫市
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新日期:2024-07-01
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:3701

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詳細介紹

品牌LEBO/雷博產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)
應用領(lǐng)域醫療衛生,化工,能源,電子產(chǎn)品尺寸550mm (W) x600mm (D) x405mm (H)

產(chǎn)品優(yōu)勢

·全封閉式顯影,避免霧氣擴散到外部,污染環(huán)境。

·外殼噴塑,耐腐蝕,易清洗。

·內腔不銹鋼材質(zhì),鏡面拋光處理,光滑,耐腐蝕,易清洗。

·內置真空過(guò)濾器,防止液體吸入真空泵。

·真空壓力可調,壓力值實(shí)時(shí)顯示。

·液體流量可調,回吸可調。


產(chǎn)品參數

支持wafer尺寸:碎片至200mm(8"圓晶)

·轉速分辨率:±1 RPM

·旋涂速度:20-3000rpm(空載)

·旋涂加速度:20-10,000rpm/sec(空載)

·工藝時(shí)間設定: 0-3,000sec/step,時(shí)間設置精度: 0.1sec

·該機型適用于標準3路顯影機(1路顯影液,1路純水,1路氮氣)

·單步工藝及多步工藝可選,內置100組可編輯程序

·可根據客戶(hù)需求定制四管路顯影機或更大基片的顯影機。




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