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多靶磁控濺射鍍膜系統

簡(jiǎn)要描述：1.MS450是一臺高真空磁控濺射鍍膜設備。
2.設備主要由真空室、濺射靶槍、濺射電源、加熱樣品臺、流量控制系統、真空獲得系統、真空測量系統、氣路系統、PLC+觸摸屏自動(dòng)控制系統等組成。
3.該設備主機與控制一體化設計，操控方便；結構緊湊，占地面積小。

  • 所在城市：無(wú)錫市
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新日期：2024-05-21
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量：423

詳細介紹

品牌LEBO/雷博
　　1.MS450是一臺高真空磁控濺射鍍膜設備。
 
　　2.設備主要由真空室、濺射靶槍、濺射電源、加熱樣品臺、流量控制系統、真空獲得系統、真空測量系統、氣路系統、PLC+觸摸屏自動(dòng)控制系統等組成。
 
　　3.該設備主機與控制一體化設計，操控方便；結構緊湊，占地面積小。
 
　　4.主要用途：
 
　　1. 開(kāi)發(fā)納米級單層、多層及復合膜層等。
 
　　2. 制備金屬膜、合金膜、半導體膜、陶瓷膜及介質(zhì)膜等，例：銀、鋁、 銅、鎳、鉻、鎳鉻合金、氧化鈦、氮化鈦、氮化鉻、ITO......
 
　　3. 兩靶單獨濺射、依次濺射、共同濺射。
 
　　5.應用領(lǐng)域：
 
　　1. 高校、科研院所的教學(xué)、科研實(shí)驗及生產(chǎn)型企業(yè)前期探索性實(shí)驗及開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品等。
 
　　2. 鈣鈦礦太陽(yáng)能電池、OLED、OPV 太陽(yáng)能電池等行業(yè)。
 
 

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